【集成电路科学与技术前沿】第十一期——TMR磁性传感器研发与工艺装备人才培养

  2026年4月23日，北京航空航天大学智能微纳公共创新中心副主任杨怀文、北京创新研究所副所长刘京曦、北京智教合一科技有限公司项目总监李杨来我院访问交流。学院党委书记郭春、院长张立春教授与杨怀文一行围绕集成电路实验室建设等议题进行了座谈。随后，杨怀文作题为“TMR磁性传感器研发与工艺装备人才培养”的学术报告。集成电路学院师生参加，王美山教授主持报告会。

  杨怀文从磁性传感器的发展背景出发，系统介绍了TMR（隧道磁阻）技术在自旋电子学领域的研究进展，重点讲解了Co/FeB/MgO及LAO/STO/CoFeB等体系中自旋调控与电荷转化机制。随后，他分享了团队在器件制备与工艺优化方面的成果，包括TMR器件性能提升、工艺产线建设以及三轴磁传感器的集成设计。在人才培养方面，杨怀文介绍了围绕芯片制造关键设备构建的教学实践平台及VR仿真教学系统，展示了产教融合背景下的人才培养模式与实践经验。

  报告结束后，杨怀文与现场师生进行了深入交流并解答了相关问题。本次报告拓展了师生在磁性传感器与先进工艺技术领域的学术视野，对学院相关研究与教学工作具有积极意义。

  杨怀文，北京航空航天大学智能微纳公共创新中心副主任、研究生导师。2015年于中国科学院物理研究所获理学博士学位，2015年-2016年在法国国家科研中心-拉莫研究所做博士后研究，2017年1月加入北航微电子学院从事博士后研究，期间在加州大学洛杉矶分校访问一年，2020年入职北航集成电路学院助理研究员，目前致力于自旋轨道转矩存储、自旋传感芯片以及仪器装备设计制造研究，共发表SCI收录论文30篇。

  （撰稿：赵国栋 初审：卢太平 终审：张立春）