授权专利

时间:2023年12月06日

序号

专利名称

申请号

专利类型

专利权人

发明人

1

一种三维非均匀化学刻蚀球型电极硅探测器

CN202122855444.1

实用新型

鲁东大学

王洪斐,李正,李鑫卿,谭泽文,蔡新毅

2

六边形螺旋硅漂移探测器

CN202221601167.X

实用新型

鲁东大学

孙佳雄,李正,李晓丹,蔡新毅,谭泽文,李鑫卿,王洪斐

3

一种三维外延注入六边形电极硅探测器

CN202122818884.X

实用新型

鲁东大学

蔡新毅,李正,谭泽文,李鑫卿,王洪斐,刘曼文

4

一种高精度六边形螺旋型硅漂移探测器支座

CN202222431789.9

实用新型

鲁东大学

李晓丹,李正,孙佳雄,蔡新毅,谭泽文,李鑫卿,王洪斐

5

一种双面螺旋环阴极型硅漂移探测器

CN202223082908.0

实用新型

鲁东大学

孙佳雄,李正,李晓丹,谭泽文,蔡新毅,李鑫卿,王洪斐

6

一种激光钻孔三维球形电极探测器

CN202121717974.3

实用新型

鲁东大学

谭泽文,李正,李鑫卿,蔡新毅,王洪斐,刘曼文,熊波

山东高校先进半导体探测器国际联合实验室
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