李正教授团队申报项目获国家重点研发计划专项立项支持

近日，从科技厅了解到，由山东省科学技术厅组织推荐，李正教授作为首席科学家、鲁东大学等4家单位联合申报的国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项项目“低功耗低噪声超快抗辐射三维沟槽电极硅探测器芯片的研发与应用”，获科技部批准立项，国家支持经费400万元（鲁东大学主持课题“三维探测器芯片设计与关键工艺研究”获批120万元）。

山东高校先进半导体探测器国际联合实验室拥有一支以国家特聘专家、泰山学者领衔的硅探测器芯片领域研究团队，建有400平米百级超净室，拥有一整套国内专用于三维超纯高阻硅探测器制作4英寸和6英寸工艺线，包括光刻机、自动匀胶机、烘干炉、氧化炉、深离子刻蚀机、磁控溅射设备、原子层沉积设备、快速退火炉等芯片制作设备，具有完善的半导体探测器建模、仿真、结构设计、掩模版设计、探测器芯片制作及其表征测试等能力和条件，成为全国高校唯一的三维沟槽电极硅探测器研发工艺线。李正教授团队正在大力推进X射线二维成像探测器和新型三维电极硅探测器高端芯片研发及产业化。

山东高校先进半导体探测器国际联合实验室坚持开展有组织科研，集中攻克国际科技前沿的重大挑战以及国家重大战略需求的关键技术瓶颈，全力推进集成电路科学与工程学科建设。此次项目获批，标志着国际联合实验室科技创新实力的显著提升和有组织科研攻关能力的显著增强。