创芯讲堂：激光微纳加工的发展与应用

报告题目：激光微纳加工的发展与应用

报告人：洪明辉教授 厦门大学

承办单位：集成电路学院

个人简介: 洪明辉教授，新加坡工程院院士，现任厦门大学工程技术学部主任和萨本栋微米纳米科学技术研究院院长，美国光学学会会士、国际光学工程学会会士、国际光子和激光工程学会会士等，是激光光学领域的著名学者和领军科学家，主要研究方向为激光微纳加工及检测技术，在激光微制造、激光清洗、激光焊接及光学检测等领域开展国际领先水平的研究工作。目前已在包括Nature、Nature Nanotechnology、Science Advances、Nature Communications等在内的国际一流学术刊物发表论文600余篇，合著学术专著15部，拥有中国、新加坡、美国以及德国等国专利42项。担任《Opto-Electronic Advances》、《Opto-Electronic Science》的执行主编，Nature子刊《Light: Science & Applications》、中国工程院院刊《Engineering》、和《Journal of Laser Micro/nanoengineering》等高水平期刊的编委。

内容概要:

激光精密加工凭借非接触、高速加工特性，已成为微纳制造核心技术。本次讲座将系统总结激光与物质作用机理，重点突破三大挑战：首先将热影响区缩减至可接受范围，将加工分辨率从微米级提升至纳米级；其次创新并行加工技术，在保持加工精度的同时将提升加工速度；第三，利用脉冲激光复合调控技术，在远场大气环境下实现15纳米特征尺寸的硅基加工。通过机理创新与装备升级协同优化，未来有望将激光精密制造的分辨率推进至10纳米以下，为半导体、光电子等领域的纳米器件制造提供新范式。

报告时间：2025年5月27日周二15：00

报告地点：图书馆报告厅