鲁东大学集成电路学院
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集成电路学院大型仪器

时间:2023年06月07日  点击数:


8
光刻机

9
自动匀胶机

10
烘干炉

12
显影机

11
加热台

13
甩干机

14
氧化炉

15
清洗机

16
磁控溅射设备

    17
原子层沉积设备

18
干刻蚀机

19
快速退火炉

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