【创芯讲堂3】东方晶源创新研究院院长孙伟强博士来集成电路学院学术交流

2023年9月28日，应集成电路学院邀请，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司创新研究院院长孙伟强博士到集成电路学院学术交流，并在集成电路学院多功能报告厅作“用于超大规模集成电路良率监控的扫描电子显微技术”学术报告。集成电路学院全体教师及研究生，物理与光电工程学院部分研究生参加，院长王美山教授主持报告会。

孙伟强博士首先介绍了超大规模集成电路制造中的良率管理要求对良率监控提出的挑战，并从扫描电子显微技术的发展历程以及扫描电子显微镜的结构出发，详细讲解了扫描电子显微镜的基本原理、关键技术指标及特征。报告围绕超大规模集成电路制造中常用的电子束缺陷检测设备EBI、关键尺寸测量设备CD-SEM以及缺陷检测设备DR-SEM，详细讲解了电子束检测量测设备的主体结构及特征、核心技术难点以及应用场景。此外，孙伟强博士还介绍了电子显微技术的发展前景和国产化进程。

孙伟强博士，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司创新研究院院长。2008年本科毕业于北京大学电子学系，2013年博士毕业于北京大学物理电子所，2013-2015年于新加坡国立大学进行博士后研究工作。2016年入职中国科学院微电子所任副研究员。2019年全职加入东方晶源。作为课题负责人完成一项国家重大科技专项。主要研究方向为用于集成电路制造领域的电子束检测、量测核心成像技术，所主导研发的设备产品已在国内集成电路制造头部企业通过验证并量产，填补了此类设备的技术和市场空白。