【创芯讲堂21】南开大学董红教授应邀来我院开展学术交流

2025年9月1日，应鲁东大学集成电路学院邀请，南开大学董红教授来访交流，并在22号教学楼401报告厅作题为“ALD和XPS装备开发和在集成电路电子器件领域应用”的学术报告。集成电路学院全体师生参加，张立春院长主持报告会。

董教授首先介绍了原子层沉积和X射线光电子能谱等真空装备在集成电路制造与量测中的重要地位，随后展开介绍了ALD技术的工作原理、核心优势以及团队利用自研ALD沉积HZ0铁电介质和IGZO器件的工作进展；最后详细介绍了X射线光电子能谱、俄歇电子能谱等表面分析设备的工作原理与团队在设备开发方面的相关进展，并对表面分析大科学装置的国产化建设等研究热点进行了展望。

报告结束后，董教授与现场师生进行了深入交流，详细解答了相关问题。鼓励同学树立创新精神，只有自主创新才是攻克“卡脖子”技术难题的唯一途径，为我国集成电路产业自主创新发展贡献青春力量。

董红，南开大学电子信息与光学工程学院教授，博士生导师，从事半导体材料、器件研究，并开展原子层沉积（ALD）与X射线光电子能谱（XPS）等材料表面分析仪器国产化和产业化工作。2003年-2007年，兰州大学物理学基地班；2007-2009年，德州农工大学考莫斯分校物理学硕士；2009-2013年，德州大学达拉斯分校博士，随后留组做博士后；2014年9月加入南开大学。至今发表与合作发表了90多篇论文，获得了多个ALD和XPS的整机以及核心零部件的国家发明专利，承担了多项产学研项目。（撰稿：赵国栋 审核：金鑫）