【创芯讲堂20】厦门大学洪明辉教授作“激光微纳加工的发展与应用”学术报告

2025年5月27日，应鲁东大学集成电路学院邀请，厦门大学洪明辉教授来访交流，并在图书馆报告厅作题为“激光微纳加工的发展与应用”的学术报告。集成电路学院全体师生参加，王美山院长主持报告会。

洪教授首先介绍了激光微纳加工技术作为一种非接触式工艺在学术研究和工业生产中的独特优势，并系统阐述了激光与物质的作用机理。然后重点讲述了从微米到纳米尺寸加工时面临的重大挑战及其解决方案包括利用脉冲激光技术缩减热影响区、发展并行（多光束）和无掩模激光加工技术解决慢速激光纳米加工的技术瓶颈、利用偏振光交叠实现远场纳米尺度精密加工等。最后，洪教授前瞻性地提出了激光制冷技术在原子尺度沉积方面的应用，有望推动10纳米以下超精密加工的发展。

报告结束后，洪教授与现场师生进行了深入交流，详细解答了相关问题。他特别勉励同学要勤奋钻研、勇于创新，在激光技术和集成电路设计等关键领域奋发图强，努力攻克“卡脖子”技术难题，为我国集成电路产业自主创新发展贡献青春力量。

洪明辉教授，新加坡工程院院士，现任厦门大学工程技术学部主任和萨本栋微米纳米科学技术研究院院长，美国光学学会会士、国际光学工程学会会士、国际光子和激光工程学会会士等，是激光光学领域的著名学者和领军科学家，主要研究方向为激光微纳加工及检测技术，在激光微制造、激光清洗、激光焊接及光学检测等领域开展国际领先水平的研究工作。目前已在包括Nature、Nature Nanotechnology、Science Advances、Nature Communications等在内的国际一流学术刊物发表论文600余篇，合著学术专著15部，拥有中国、新加坡、美国以及德国等国专利42项。担任《Opto-Electronic Advances》、《Opto-Electronic Science》的执行主编，Nature子刊《Light: Science & Applications》、中国工程院院刊《Engineering》、和《Journal of Laser Micro/nanoengineering》等高水平期刊的编委。（撰稿：赵国栋 审核：金鑫）